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    科普:超純水設備日常保養中會遇到的問題

    2022-10-09

      作為電子產品的清洗用水,超純水的誕生有效的去除了水中的雜質和懸浮物,電阻率達到18 MΩ*cm(25℃),幫助芯片、單晶硅、半導體等行業實現清潔生產。

      作為制備超純水的設備來說,其在運行中如何維護保養便是十分重要的。下面我就來簡單介紹超純水設備日常保養會遇到的問題。

      問題一:超純水設備的管道怎樣清洗。

      答:開始時使用超純水沖洗管內雜質,第二遍、第三遍使用雙氧水清洗消毒,第四遍可應用超純水將管內雙氧水殘液沖洗干凈。

      問題二:超純水設備如何消毒。

      答:設備可在清洗水箱中加入1200LRO產水,緩緩加入約10kg25%的H2O2溶液,配制0.2%的H2O2溶液,用清洗泵自循環10分鐘,使溶液混合均勻。

      問題三:設備長期停運時如何保養。

      答:短期停機(不超過三天),每天必須用保安過濾器沖洗30分鐘并保證RO組件內充滿過濾水。RO裝置如長期停機(大于三天),應采用1%甲醛